流量传感器在微流体控制设备液体流量测量

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近年来在生物体液活检领域微流控技术受到了极大关注。微流控(microfluidics)是使用微管道(尺寸为数十到数百微米)处理或操纵微小流体(体积为微升)的系统所涉及的科学和技术，是一门涉及化学、流体物理、微电子、新材料、生物学和生物医学工程的新兴交叉学科。

在微流控实验过程中经常需要实时的了解实验通路上的液体流量是多少以及液体流量的实时变化，以便实验人员能够及时的采取实验方法达到做需要的实验目的。而高精度的微流速控制技术是其中的难点之一，另外由于体液活检的特点需要检测系统以非接触方式对体液进行快速、精准的检测。

而检测系统中与体液相接触的部分一般以耗材形式出现，一次性的使用对成本的要求更高。目前，测量微流体实验通路上的液体流量主要使用液体流量传感器，工采网ISWEEK公司品牌 气体流量传感器AFE-01的流量芯片，是欧洲原始生产厂家代工的公司。开发了装配有流速检测元件的MEMS流量传感器。拥有引以为傲的高级别灵敏度，可以精确检测达到0.001m/s的气体流速变化。生产出体积只有5 mm x 3.5 mm x 0.2 mm的芯片。

AFE-01流量传感器由四个铂薄膜电阻组成，基于流速的函数，通过了解热传递，可以从维持恒定温度所需的电压补偿量来确定流速。同时AFE-01流量芯片因为体积小且耐高温（-20°C~150°C的工作环境)，很好的温度补偿电路，非常适合应用在发动机进气流量计中使用。