超声波液位传感器在涂胶显影机进液系统中的应用

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在半导体的生产过程中，涂胶显影机应用于半导体制造的光刻工艺中，是感光剂(photoresist)的涂布(coat)和显影(develop)的设备。涂胶显影机组有多个系统模块组成，其中化学品柜进液系统是涂胶显影的重要组成部分，目前的系统相关主要零部件主要由，罐体、真空发生器、电磁传感器、电磁阀、稀释剂、管路等在零部件组成。在该设备的涂胶（coat）单元中，硅片上面的感光剂首先被涂布，后被送到曝光设备里，通过光刻机将MASK上面图形投影到硅片上。硅片回到涂胶显影机的显影单元中，通过对硅片表面感光胶喷涂显影液，使被感光部分的感光剂融化，这样wafer上就出现了凹凸的图形。经过各种工序重复,最终就形成了细微而复杂的集成电路。而在现有的设备装配完成后，只能通过涂胶显影设备机组进行联合调试、来确定进液系统是否可以正常工作，无法提前确定进液系统的质量能否达到技术要求。因此会大大增加设备联合调试的工作量降低了生产速率。

为确定进液系统工采网推荐使用超声波液位传感器监测。超声波液位传感器属于阈值传感器，通过检测探头的感应间隙中是否存在液体来产生信号。超声波信号在间隙中传输，而液位检测依赖于信号衰减差异，当液体填满间隙时衰减极低。检测器收到有效信号时，传感器将产生输出信号，指示间隙中存在液体。该类型传感器适合泵保护、油膜检测或切断系统等应用。工采网提供的美国SENIX ToughSonic-50 超声波液位传感器 - TSPC-21S/21SRM/25P的检测距离为50英尺（15.2米）。像所有韧性传感器一样，它们的耐用性和易用性在恶劣的工业环境中使用。ToughSonic 50s完全可以浸入，耐腐蚀，抗冲击和强韧。它们也可以用SenixVIEW软件完全配置。

ToughSonic 50s可用于三个不同的外壳，每个外壳都有RS-232或RS-485串行接口。这些9线传感器允许多达六个同时的串行，模拟和/或开关输出。这些主力传感器在世界各地在远程液位应用和恶劣的工厂环境中使用。

ToughSonic-50 超声波液位传感器选项：

ToughSonic 50有三种不同的外壳。任何的外壳都可以所有传感器的功能。

标准：型号（TSPC-21S）采用2.1英寸（53.34）光滑316不锈钢外壳，便于加紧

背面安装：后安装型（TSPC-21SRM）增加了1.5英寸NPT螺纹到2.1英寸平滑标准外壳中的不锈钢端帽

PVC型号：也可以使用ToughSonic 50（TSPC-25P）的2.5寸PVC型号。该型号具有相同的固态电子产品，坚固的压电换能器，永久连接的9芯电缆和其他ToughSonic 50s的全环氧树脂灌封，但封装在2.5英寸PVC外壳中，两端使用2.5英寸NPT螺纹，用于罐级应用。

ToughSonic-50 超声波液位传感器规格：